用語集
MEMS
読み
めむす
意味
MEMSとはMicro Electro Mechanical(マイクロ・エレクトロ・メカミカル)という英語の略称で、微小な電気機械システムという意味を持ちます。
日本ではマイクロマシンと呼ばれることもあり、その本体は名称のとおり全長がミリ単位で、部品として使用されているパーツにはµm(マイクロメートル・1mmは1000µm)単位とその技術は超極小の世界へと突入しています。
またこのMEMSは下記の機械要素部品をひとまとめにしたデバイスで、半導体のシリコン基板やガラス基板、有機材料などに利用されています。
- ・センサー
- ・アクロチューター
- ・電子回路
小型なデバイスであることから、材料資源や消費エネルギーを抑えることができるため、低コスト化を実現可能としており、今では下記のような用途が求められる機器には欠かせない重要パーツとなっています。
- ・小型化
- ・省電力化
- ・高性能化
- ・低コスト化
MEMSは半導体と混同されることが多いようですが、一番の違いは構造が立体的であることと、可動する部分を持っているという点です。
実際の働きは大規模集積回路(LSI)の処理データを機械動作部へと繋ぐ役割を持つため、動く半導体とも言え産業界では産業のマメと呼ばれています。
それでは最後にMEMSが使用されているデバイスを紹介しておきましょう・
- ・インクジェットプリンタのプリンタヘッド
- ・HDDのヘッド
- ・加速度センサー
- ・DNAチップ
- ・ジャイロスコープ
- ・圧力センサー
- ・光スイッチ
- ・光スキャナー
- ・流路モジュール
- ・波長可変レーザー
- ・光変調器
専門用語を探す
あ行
あ
い
う
え
お
か行
か
き
く
け
こ
さ行
さ
し
す
せ
そ
た行
た
ち
つ
て
と
な行
な
に
ぬ
ね
の
は行
は
ひ
ふ
へ
ほ
ま行
ま
み
む
め
も
や行
や
ゆ
よ
ら行
ら
り
る
れ
ろ
わ行
わ
を
ん
